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        inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規 BPG552
        點擊次數:739 更新時間:2024-03-19
         

        inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規 BPG552 

         

        inficon熱電離真空計BPG552技術特點:

        對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon™ 系列包括雙技術 BPG552 儀表。BPG552 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復性和使用壽命。

        inficon熱電離真空計BPG552優點

        ü 雙量規(2 個傳感元件)可實現寬測量范圍、降低成本并節省空間

        ü Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲

        ü 皮拉尼聯鎖保護以避免燈絲過早燒毀

        ü 自動高真空皮拉尼調節減少了操作員干預

        ü 電隔離電子器件以避免雜散電流

        ü 滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結

        ü 由于可拆卸校準數據芯片,可烘烤性更長

        ü 設定點繼電器

        ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面

        ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

        ü 可與 VGC50x 控制器系列結合使用

        ü 向后兼容 BPG402

        ü RoHS 合規性

        inficon熱電離真空計BPG552典型應用

        · 半導體工藝中的壓力測量

        · 工業涂料

        · 低至真空范圍系統的一般真空測量和控制

        inficon熱電離真空計BPG552規格

        測量范圍(空氣、O 2、CO、N 2  5×10 -10 … 1000 毫巴

        準確性  

        1×10 -8 … 1×10 -2毫巴       ±15 讀數

        1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴     讀數的±30%

        重復性:讀數的 5%,10 -8 … 10 -2 mbar(穩定 10 分鐘后)

        暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢

        inficon熱電離真空計BPG552備件零件號 描述

        354-420   BPG552 備用傳感器頭,KF25

        354-421     BPG552 備用傳感器頭,CF40


         
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